東海大學化學工程與材料工程學系--專任教師-林志曜

林志曜助理教授

聯絡電話:04-23590121-33213
E-mail:lincy@thu.edu.tw

學歷 臺灣大學化工博士  
領域 製程及能源工程領域
授課領域 單元操作
輸送現象
程序整合與最適化
半導體製程技術
研究專長 程序整合與最適化
程序系統工程
半導體製程技術開發
教師履歷 林志曜老師的學術活動及獲獎 (thu.edu.tw)
實驗室

程序系統暨半導體創新實驗室

實驗室影片介紹  

 

學術著作

學術期刊論文

學年度 名稱 著作人

研討會論文

學年度 名稱 著作人
111 陳儀瑄、陳品儒、林志曜(2023.05)。圖案晶圓化學氣相沉積多尺度模型的建立。論文發表於2023熱力學暨程序系統工程研討會,溪頭:臺灣大學化學工程學系。 林志曜
111 林志曜*、陳品儒(2022.12)。綠色半導體製程技術的研究。論文發表於2022 智慧永續循環技術研討會,東海大學:東海大學。 林志曜
111 陳品儒、陳儀瑄、林志曜*(2022.12)。半導體製程先進圖案技術的研究。論文發表於台灣化學工程學會69週年年會,淡江大學:台灣化學工程學會、淡江大學。 林志曜
111 Chih-Yao Lin(林志曜)*, Hsiu-Chi Liang (2022.12). Studies on Energy Integration Strategy of Batch Processes. Paper presented at 10th Asian Symposium on Process Systems Engineering (PSE Asia 2022), Chennai, India: Indian Institute of Technology Madras Campus. 林志曜
111 梁修齊、王立君、林志曜*(2022.12)。批次製程能源整合策略之研究。論文發表於台灣化學工程學會69週年年會,淡江大學:台灣化學工程學會、淡江大學。 林志曜
111 Yung-Chung Lo and Jo-Shu Chang (2023.01). Effect of microalgae-probiotics bioagent on white shrimp farming. Paper presented at 2023第十三屆國際綠色永續生物科技研討會, 台北明志科技大學: 台北明志科技大學. 林志曜
110 王立君、林志曜(2022.01)。Studies on Simultaneous Optimization of Integrated Batch Production and Energy Systems。論文發表於2021 TwIChE 台灣化學工程學會68週年年會暨科技部化學工程學門發表會/前瞻分子工程研討會,高雄:國立高雄科技大學。 林志曜
110 陳品儒、林志曜(2022.01)。Design of Contact Pad Structure for 3D NAND Flash。論文發表於2021 TwIChE 台灣化學工程學會68週年年會暨科技部化學工程學門發表會/前瞻分子工程研討會,高雄:國立高雄科技大學。 林志曜
109 Chih-Yao Lin (林志曜)* (2020.11). Process Systems Engineering (PSE) Applications In Semiconductor Manufacturing: Contact Pad Structure Design. Paper presented at 9th Asian Symposium on Process Systems Engineering (PSE Asia 2020), Taipei: Department of Chemical Engineering, National Taiwan University. 林志曜
109 Chih-Yao Lin (林志曜)*, Pin-Ru Chen (2021.05). A Novel Approach for The Design of Semiconductor Process. Paper presented at 2021 Symposium on Thermodynamics and Process Systems Engineering, 台灣大學實驗林管處 溪頭自然教育園區 (因疫情改為線上會議): 臺灣大學化學工程學系. 林志曜

專書中之論文

學年度 名稱 著作人

主編之專書

學年度 名稱 著作人

專利

學年度 名稱 著作人

技術報告

學年度 名稱 著作人

其他

學年度 名稱 著作人

代表性論著

學年度 名稱 著作人

其他計畫

其他計畫

學年度 計畫主持人 計畫名稱 計畫期程 合作機構

科技部計畫

國科會計畫

學年度 計畫主持人 計畫名稱 計畫日期 類型
111 林志曜 (111)批次製程能源系統的設計(3/3) 111年12月
112年11月
國科會計畫
110 林志曜 (110)批次製程能源系統的設計(2/3) 110年12月~
111年11月
國科會計畫
109 林志曜 (109)批次製程能源系統的設計(1/3) 109年12月~
110年11月
國科會計畫